河北干式真空泵

产品名(ming)称：河北干式真空泵
产品分类：干式真(zhen)空(kong)泵(beng)系列
公司名称：卡(ka)塞尔机械（浙(zhe)江）有(you)限公(gong)司(si)
联系方式：135-7576-9127　153-5682-6256
公(gong)司地址：浙(zhe)江安吉天子湖(hu)工(gong)业(ye)园天子湖(hu)大道卡(ka)塞(sai)尔工(gong)业(ye)园
添加时间： 2020/11/09

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干式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)（又简称(cheng)干式(shi)机(ji)械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)）是指泵(beng)(beng)(beng)(beng)能从大气(qi)(qi)压力下开始抽气(qi)(qi)，又能将(jiang)被抽气(qi)(qi)体直接排到(dao)大气(qi)(qi)中去(qu)，泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔(qiang)内无油(you)或其他工作介质，而且(qie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的压力与油(you)封(feng)式(shi)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)同等量级或者接近的机(ji)械(xie)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)。
干式真空泵的应用是广(guang)泛的，主要有以下(xia)几(ji)个方面：
1）低压化(hua)学气(qi)相沉积中的多(duo)晶硅制备工艺中；
2）半(ban)导体刻蚀工艺(yi)(yi)。在(zai)这些生产工艺(yi)(yi)中往往用到或(huo)生成腐(fu)蚀性气(qi)体和研磨微粒；
3）除半导体工(gong)艺外的(de)某些产生微(wei)粒的(de)工(gong)艺，不希望微(wei)粒混入(ru)泵油中，而希望微(wei)粒排(pai)出泵外，则用一定型式的(de)干式机(ji)械真空泵可以满足(zu)要求；
4）在化学工业(ye)、医药(yao)工业(ye)、食品工业(ye)中的蒸(zheng)馏、干(gan)燥(zao)、脱(tuo)泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适(shi)合(he)用干(gan)式真(zhen)空泵；
5）用(yong)做一(yi)般无油清(qing)洁(jie)真空系统的前级(ji)泵，以(yi)防止油污染(ran)。

干式真空泵

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更新时间：20/11/09 16:24:11

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